 
                    Camillo Borghese (Paweł V): 1602–1605
 
                    Camillo Borghese (Paweł V): 1602–1605
 
                    Pompeo Arrigoni: 1605–1616
 
                    Giovanni Garzia Millini: 1616–1629
 
                    Antonio Barberini: 1629–1633
 
                    Francesco Barberini: 1633–1679
 
                    Cesare Facchinetti: 1679–1683
 
                    Alderano Cibo: 1683–1700
 
                    Galeazzo Marescotti: 1700–1716
 
                    Fabrizio Spada: 1716–1717
 
                    Nicolò Acciaioli: 1717–1719
 
                    Francesco Giudice: 1719–1725
 
                    Fabrizio Paolucci: 1725–1726
 
                    Pietro Ottoboni: 14 czerwca 1726 – 28 lutego 1740
 
                    Tommaso Ruffo: 29 sierpnia 1740 – 16 lutego 1753
 
                    Neri Maria Corsini: 26 lutego 1753 – 6 grudnia 1770
 
                    Giovanni Francesco Stoppani: 12 grudnia 1770 – 18 listopada 1774
 
                    Luigi Maria Torrigiani: 22 lutego 1775 – 6 stycznia 1777
 
                    Carlo Rezzonico: 17 stycznia 1777 – 26 stycznia 1799
 
                    Leonardo Antonelli: 8 listopada 1800 – 23 stycznia 1811
 
                    Giulio Maria della Somaglia: 1814–1830
 
                    Bartolomeo Pacca: 5 kweitnia 1830 – 19 kwietnia 1844
 
                    Vincenzo Macchi: 25 kwietnia 1844 – 30 września 1860
 
                    Costantino Patrizi: 3 października 1860 – 17 grudnia 1876
 
                    Prospero Caterini: 21 grudnia 1876 – 28 października 1881
 
                    Antonio Maria Panebianco: 30 marca 1882 – 25 stycznia 1883
 
                    Luigi Bilio: 25 stycznia 1883 – 30 stycznia 1884
 
                    Raffaele Monaco La Valletta: 15 lutego 1884 – 14 lipca 1896
 
                    Lucido Maria Parocchi: 5 sierpnia 1896 – 15 stycznia 1903
 
                    Serafino Vannutelli: 17 stycznia 1903 – 31 grudnia 1908
 
                    Mariano Rampolla del Tindaro: 31 grudnia 1908 – 16 grudnia 1913
 
                    Domenico Ferrata: 2 stycznia 1914 – 10 październik 1914
 
                    Rafael Merry del Val: 14 październik 1914 – 26 lutego 1930
 
                    Donato Sbarretti: 4 lipca 1930 – 1 kwietnia 1939
 
                    Francesco Marchetti Selvaggiani: 30 kwietnia 1939 – 13 stycznia 1951
 
                    Giuseppe Pizzardo: 16 lutego 1951 – 7 listopada 1959
 
                    Alfredo Ottaviani: 12 stycznia 1953 – 7 listopada 1959 (pro–sekretarz); 7 listopada 1959 – 9 lutego 1966 (sekretarz); 9 lutego 1966 – 6 stycznia 1968 (pro–prefekt)
 
                    Franjo Šeper: 8 stycznia 1968 – 25 listopada 1981 (prefekt)
 
                    Joseph Ratzinger (Benedykt XVI): 25 listopada 1981 – 2 kwietnia 2005
 
                    William Joseph Levada: 13 maja 2005 – 2 lipca 2012
 
                    Gerhard Ludwig Müller: 2 lipca 2012 – 30 czerwca 2017
 
                    Luis Francisco Ladaria Ferrer SJ: 1 lipca 2017 – 30 czerwca 2023
 
                    Víctor Manuel Fernández: od 1 lipca 2023