
Camillo Borghese (Pablo V): 1602–1605
Camillo Borghese (Pablo V): 1602–1605
Pompeo Arrigoni: 1605–1616
Giovanni Garzia Millini: 1616–1629
Antonio Barberini: 1629–1633
Francesco Barberini: 1633–1679
Cesare Facchinetti: 1679–1683
Alderano Cibo: 1683–1700
Galeazzo Marescotti: 1700–1716
Fabrizio Spada: 1716–1717
Nicolò Acciaioli: 1717–1719
Francesco Giudice: 1719–1725
Fabrizio Paolucci: 1725–1726
Pietro Ottoboni: 14 de junio de 1726 – 28 de febrero de 1740
Tommaso Ruffo: 29 de agosto de 1740 – 16 de febrero de 1753
Neri Maria Corsini: 26 de febrero de 1753 – 6 de diciembre de 1770
Giovanni Francesco Stoppani: 12 de diciembre de 1770 – 18 de noviembre de 1774
Luigi Maria Torrigiani: 22 de febrero de 1775 – 6 de enero de 1777
Carlo Rezzonico: 17 de enero de 1777 – 26 de enero de 1799
Leonardo Antonelli: 8 de noviembre de 1800 – 23 de enero de 1811
Giulio Maria della Somaglia: 1814–1830
Bartolomeo Pacca: 5 de abril de 1830 – 19 de abril de 1844
Vincenzo Macchi: 25 de abril de 1844 – 30 de septiembre de 1860
Costantino Patrizi: 3 de octubre de 1860 – 17 de diciembre de 1876
Prospero Caterini: 21 de diciembre de 1876 – 28 de octubre de 1881
Antonio Maria Panebianco: 30 de marzo de 1882 – 25 enero de 1883
Luigi Bilio: 25 de enero de 1883 – 30 de enero 1884
Raffaele Monaco La Valletta: 15 de febrero de 1884 – 14 de julio de 1896
Lucido Maria Parocchi: 5 de agosto de 1896 – 15 de enero de 1903
Serafino Vannutelli: 17 de enero de 1903 – 31 de diciembre de 1908
Mariano Rampolla del Tindaro: 31 de diciembre de 1908 – 16 de diciembre de 1913
Domenico Ferrata: 2 de enero de – 10 de octubre de 1914
Rafael Merry del Val: 14 de octubre de 1914 – 26 de febrero de 1930
Donato Sbarretti: 4 de julio de 1930 – 1° de abril de 1939
Francesco Marchetti Selvaggiani: 30 de abril de 1939 – 13 de enero de 1951
Giuseppe Pizzardo: 16 de febrero de 1951 – 7 de noviembre de 1959
Alfredo Ottaviani: 12 de enero de 1953 – 7 de noviembre de 1959 (Pro–secretario); 7 de noviembre de 1959 – 9 de febrero de 1966 (Secretario); 9 de febrero de 1966 – 6 de enero de 1968 (Pro-prefecto)
Franjo Šeper: 8 de enero de 1968 – 25 de noviembre de 1981 (Prefecto)
Joseph Ratzinger (Benedicto XVI): 25 de noviembre de 1981 – 2 de abril de 2005
William Joseph Levada: 13 de mayo de 2005 – 2 de julio de 2012
Gerhard Ludwig Müller: 2 de julio de 2012 – 30 de junio de 2017
Luís Francisco Ladaria Ferrer, S.I.: 1 de julio 2017 – 30 de junio de 2023
Víctor Manuel Fernández: desde 1 de julio de 2023