
Camillo Borghese (Paolo V) : 1602–1605
Camillo Borghese (Paolo V) : 1602–1605
Pompeo Arrigoni : 1605–1616
Giovanni Garzia Millini : 1616–1629
Antonio Barberini : 1629–1633
Francesco Barberini : 1633–1679
Cesare Facchinetti : 1679–1683
Alderano Cibo : 1683–1700
Galeazzo Marescotti : 1700–1716
Fabrizio Spada : 1716–1717
Nicolò Acciaioli : 1717–1719
Francesco Giudice : 1719–1725
Fabrizio Paolucci : 1725–1726
Pietro Ottoboni : 14 juin 1726 – 28 février 1740
Tommaso Ruffo : 29 août 1740 – 16 février 1753
Neri Maria Corsini : 26 février 1753 – 6 décembre 1770
Giovanni Francesco Stoppani : 12 décembre 1770 – 18 novembre 1774
Luigi Maria Torrigiani: 22 février 1775 – 6 janvier 1777
Carlo Rezzonico : 17 janvier 1777 – 26 janvier 1799
Leonardo Antonelli : 8 novembre 1800 – 23 janvier 1811
Giulio Maria della Somaglia : 1814–1830
Bartolomeo Pacca : 5 avril 1830 – 19 avril 1844
Vincenzo Macchi : 25 avril 1844 – 30 septembre 1860
Costantino Patrizi : 3 octobre 1860 – 17 décembre 1876
Prospero Caterini : 21 décembre 1876 – 28 octobre 1881
Antonio Maria Panebianco : 30 mars 1882 – 25 janvier 1883
Luigi Bilio : 25 janvier 1883 – 30 janvier 1884
Raffaele Monaco La Valletta : 15 février 1884 – 14 juillet 1896
Lucido Maria Parocchi : 5 août 1896 – 15 janvier 1903
Serafino Vannutelli : 17 janvier 1903 – 31 décembre 1908
Mariano Rampolla del Tindaro : 31 décembre 1908 – 16 décembre 1913
Domenico Ferrata : 2 janvier 1914 – 10 octobre 1914
Rafael Merry del Val: 14 octobre 1914 – 26 février 1930
Donato Sbarretti : 4 juillet 1930 – 1er avril 1939
Francesco Marchetti Selvaggiani : 30 avril 1939 – 13 janvier 1951
Giuseppe Pizzardo : 16 février 1951 – 7 novembre 1959
Alfredo Ottaviani : 12 janvier 1953 – 7 novembre 1959 (Pro-secrétaire) ; 7 novembre 1959 – 9 février 1966 (Secrétaire) ; 9 février 1966 – 6 janvier 1968 (Pro-préfet)
Franjo Šeper : 8 janvier 1968 – 25 novembre 1981 (Préfet)
Joseph Ratzinger (Benedetto XVI) : 25 novembre 1981 – 2 avril 2005
William Joseph Levada : 13 mai 2005 – 2 juillet 2012
Gerhard Ludwig Müller : 2 luglio 2012 – 30 giugno 2017
Luís Francisco Ladaria Ferrer, S.I. : 1er juillet 2017 – 30 juin 2023
Víctor Manuel Fernández : depuis le 1er juillet 2023