 
                    Camillo Borghese (Paolo V) : 1602–1605
 
                    Camillo Borghese (Paolo V) : 1602–1605
 
                    Pompeo Arrigoni : 1605–1616
 
                    Giovanni Garzia Millini : 1616–1629
 
                    Antonio Barberini : 1629–1633
 
                    Francesco Barberini : 1633–1679
 
                    Cesare Facchinetti : 1679–1683
 
                    Alderano Cibo : 1683–1700
 
                    Galeazzo Marescotti : 1700–1716
 
                    Fabrizio Spada : 1716–1717
 
                    Nicolò Acciaioli : 1717–1719
 
                    Francesco Giudice : 1719–1725
 
                    Fabrizio Paolucci : 1725–1726
 
                    Pietro Ottoboni : 14 juin 1726 – 28 février 1740
 
                    Tommaso Ruffo : 29 août 1740 – 16 février 1753
 
                    Neri Maria Corsini : 26 février 1753 – 6 décembre 1770
 
                    Giovanni Francesco Stoppani : 12 décembre 1770 – 18 novembre 1774
 
                    Luigi Maria Torrigiani: 22 février 1775 – 6 janvier 1777
 
                    Carlo Rezzonico : 17 janvier 1777 – 26 janvier 1799
 
                    Leonardo Antonelli : 8 novembre 1800 – 23 janvier 1811
 
                    Giulio Maria della Somaglia : 1814–1830
 
                    Bartolomeo Pacca : 5 avril 1830 – 19 avril 1844
 
                    Vincenzo Macchi : 25 avril 1844 – 30 septembre 1860
 
                    Costantino Patrizi : 3 octobre 1860 – 17 décembre 1876
 
                    Prospero Caterini : 21 décembre 1876 – 28 octobre 1881
 
                    Antonio Maria Panebianco : 30 mars 1882 – 25 janvier 1883
 
                    Luigi Bilio : 25 janvier 1883 – 30 janvier 1884
 
                    Raffaele Monaco La Valletta : 15 février 1884 – 14 juillet 1896
 
                    Lucido Maria Parocchi : 5 août 1896 – 15 janvier 1903
 
                    Serafino Vannutelli : 17 janvier 1903 – 31 décembre 1908
 
                    Mariano Rampolla del Tindaro : 31 décembre 1908 – 16 décembre 1913
 
                    Domenico Ferrata : 2 janvier 1914 – 10 octobre 1914
 
                    Rafael Merry del Val: 14 octobre 1914 – 26 février 1930
 
                    Donato Sbarretti : 4 juillet 1930 – 1er avril 1939
 
                    Francesco Marchetti Selvaggiani : 30 avril 1939 – 13 janvier 1951
 
                    Giuseppe Pizzardo : 16 février 1951 – 7 novembre 1959
 
                    Alfredo Ottaviani : 12 janvier 1953 – 7 novembre 1959 (Pro-secrétaire) ; 7 novembre 1959 – 9 février 1966 (Secrétaire) ; 9 février 1966 – 6 janvier 1968 (Pro-préfet)
 
                    Franjo Šeper : 8 janvier 1968 – 25 novembre 1981 (Préfet)
 
                    Joseph Ratzinger (Benedetto XVI) : 25 novembre 1981 – 2 avril 2005
 
                    William Joseph Levada : 13 mai 2005 – 2 juillet 2012
 
                    Gerhard Ludwig Müller : 2 luglio 2012 – 30 giugno 2017
 
                    Luís Francisco Ladaria Ferrer, S.I. : 1er juillet 2017 – 30 juin 2023
 
                    Víctor Manuel Fernández : depuis le 1er juillet 2023