
Camillo Borghese (Paul V.): 1602–1605
Camillo Borghese (Paul V.): 1602–1605
Pompeo Arrigoni: 1605–1616
Giovanni Garzia Millini: 1616–1629
Antonio Barberini: 1629–1633
Francesco Barberini: 1633–1679
Cesare Facchinetti: 1679–1683
Alderano Cibo: 1683–1700
Galeazzo Marescotti: 1700–1716
Fabrizio Spada: 1716–1717
Nicolò Acciaioli: 1717–1719
Francesco Giudice: 1719–1725
Fabrizio Paolucci: 1725–1726
Pietro Ottoboni: 14. Juni 1726 – 28. Februar 1740
Tommaso Ruffo: 29. August 1740 – 16. Februar 1753
Neri Maria Corsini: 26. Februar 1753 – 6. Dezember 1770
Giovanni Francesco Stoppani: 12. Dezember 1770 – 18. November 1774
Luigi Maria Torrigiani: 22. Februar 1775 – 6. Januar 1777
Carlo Rezzonico: 17. Januar 1777 – 26. Januar 1799
Leonardo Antonelli: 8. November 1800 – 23. Januar 1811
Giulio Maria della Somaglia: 1814–1830
Bartolomeo Pacca: 5. April 1830 – 19. April 1844
Vincenzo Macchi: 25. April 1844 – 30. September 1860
Costantino Patrizi: 3. Oktober 1860 – 17. Dezember 1876
Prospero Caterini: 21. Dezember 1876 – 28. Oktober 1881
Antonio Maria Panebianco: 30. März 1882 – 25. Januar 1883
Luigi Bilio: 25. Januar 1883 – 30. Januar 1884
Raffaele Monaco La Valletta: 15. Februar 1884 – 14. Juli 1896
Lucido Maria Parocchi: 5. August 1896 – 15. Januar 1903
Serafino Vannutelli: 17. Januar 1903 – 31. Dezember 1908
Mariano Rampolla del Tindaro: 31. Dezember 1908 – 16. Dezember 1913
Domenico Ferrata: 2. Januar 1914 – 10. Oktober 1914
Rafael Merry del Val: 14. Oktober 1914 – 26. Februar 1930
Donato Sbarretti: 4. Juli 1930 – 1. April 1939
Francesco Marchetti Selvaggiani: 30. April 1939 – 13. Januar 1951
Giuseppe Pizzardo: 16. Februar 1951 – 7. November 1959
Alfredo Ottaviani: 12. Januar 1953 – 7. November 1959 (Pro–Sekretär); 7. November 1959 – 9. Februar 1966 (Sekretär); 9. Februar 1966 – 6. Januar 1968 (Pro–Präfekt)
Franjo Šeper: 8. Januar 1968 – 25. November 1981 (Präfekt)
Joseph Ratzinger (Benedikt XVI.): 25. November 1981 – 2. April 2005
William Joseph Levada: 13. Mai 2005 – 2. Juli 2012
Gerhard Ludwig Müller: 2. Juli 2012 – 30. Juni 2017
Luis Francisco Ladaria Ferrer, S.I.: 1. Juli 2017 – 30. Juni 2023
Víctor Manuel Fernández: seit 1. Juli 2023