 
                    Camillo Borghese (Paul V.): 1602–1605
 
                    Camillo Borghese (Paul V.): 1602–1605
 
                    Pompeo Arrigoni: 1605–1616
 
                    Giovanni Garzia Millini: 1616–1629
 
                    Antonio Barberini: 1629–1633
 
                    Francesco Barberini: 1633–1679
 
                    Cesare Facchinetti: 1679–1683
 
                    Alderano Cibo: 1683–1700
 
                    Galeazzo Marescotti: 1700–1716
 
                    Fabrizio Spada: 1716–1717
 
                    Nicolò Acciaioli: 1717–1719
 
                    Francesco Giudice: 1719–1725
 
                    Fabrizio Paolucci: 1725–1726
 
                    Pietro Ottoboni: 14. Juni 1726 – 28. Februar 1740
 
                    Tommaso Ruffo: 29. August 1740 – 16. Februar 1753
 
                    Neri Maria Corsini: 26. Februar 1753 – 6. Dezember 1770
 
                    Giovanni Francesco Stoppani: 12. Dezember 1770 – 18. November 1774
 
                    Luigi Maria Torrigiani: 22. Februar 1775 – 6. Januar 1777
 
                    Carlo Rezzonico: 17. Januar 1777 – 26. Januar 1799
 
                    Leonardo Antonelli: 8. November 1800 – 23. Januar 1811
 
                    Giulio Maria della Somaglia: 1814–1830
 
                    Bartolomeo Pacca: 5. April 1830 – 19. April 1844
 
                    Vincenzo Macchi: 25. April 1844 – 30. September 1860
 
                    Costantino Patrizi: 3. Oktober 1860 – 17. Dezember 1876
 
                    Prospero Caterini: 21. Dezember 1876 – 28. Oktober 1881
 
                    Antonio Maria Panebianco: 30. März 1882 – 25. Januar 1883
 
                    Luigi Bilio: 25. Januar 1883 – 30. Januar 1884
 
                    Raffaele Monaco La Valletta: 15. Februar 1884 – 14. Juli 1896
 
                    Lucido Maria Parocchi: 5. August 1896 – 15. Januar 1903
 
                    Serafino Vannutelli: 17. Januar 1903 – 31. Dezember 1908
 
                    Mariano Rampolla del Tindaro: 31. Dezember 1908 – 16. Dezember 1913
 
                    Domenico Ferrata: 2. Januar 1914 – 10. Oktober 1914
 
                    Rafael Merry del Val: 14. Oktober 1914 – 26. Februar 1930
 
                    Donato Sbarretti: 4. Juli 1930 – 1. April 1939
 
                    Francesco Marchetti Selvaggiani: 30. April 1939 – 13. Januar 1951
 
                    Giuseppe Pizzardo: 16. Februar 1951 – 7. November 1959
 
                    Alfredo Ottaviani: 12. Januar 1953 – 7. November 1959 (Pro–Sekretär); 7. November 1959 – 9. Februar 1966 (Sekretär); 9. Februar 1966 – 6. Januar 1968 (Pro–Präfekt)
 
                    Franjo Šeper: 8. Januar 1968 – 25. November 1981 (Präfekt)
 
                    Joseph Ratzinger (Benedikt XVI.): 25. November 1981 – 2. April 2005
 
                    William Joseph Levada: 13. Mai 2005 – 2. Juli 2012
 
                    Gerhard Ludwig Müller: 2. Juli 2012 – 30. Juni 2017
 
                    Luis Francisco Ladaria Ferrer, S.I.: 1. Juli 2017 – 30. Juni 2023
 
                    Víctor Manuel Fernández: seit 1. Juli 2023